第263章 工艺最高达到了45nm

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试验人员取出晶圆，进行显影、烘干、刻蚀。

期间还需要用掉不少的超纯水，用这些水，把晶圆上的杂质给清洗干净。

有些无聊的光刻流程，但又是真的非常的神奇。

通过光刻，将图案刻在了晶圆上，几十纳米线宽，不通过显微镜，根本看不到。

而后再通过操作，让铜等金属在刻蚀的区域外延生长，做成了纳米级的电路。

小小的一个芯片中，密密麻麻的布着电路。

三个小时后，试验的晶圆好了，在此前每个步骤都有人员测试参数，这会儿更是开始了详细测试和验证。

“……工艺最高达到了n！”虽然是蒙着嘴，但连广浩看着这检测仪器上的参数，兴奋的跳了起来！

这还是干式光刻呢，如果通过浸没式的光刻呢，是不是能够突破n了

甚至通过多次曝光，达到更高的工艺！

连广浩这一句话，让场上的人顿时欢呼了起来！

“真的吗我们居然成功了！”

“天啊，咱们搞出来了！”

“江董牛逼！”

……

江成摇头笑笑，这些小伙子，还是太年轻了，他刚也看了（顺带模拟了），发现只是很少部分栅极的最小线宽达到了n，而且极不均匀。

这里头，既有光刻工艺还不纯熟，也有可能后续的一些工艺流程还有缺陷。

不过，这会儿，大家都在兴奋之中，他们已经忙活了大半年了，有这么一个好消息刺激刺激他们也好。

“这是一个巨大的进步，离我们的浸没式光刻机又近了一步。”江成开口道，“不过，大家也别放松了，咱们还有很多要改进的地方。”江成提醒道。

不仅如此，浸没式光刻，也不是那么容易的。

除了超纯水，还需要配套的工艺技术。

这一块，需要起耳机电的工程师一起来协助。

而他们，还需要过几天才能抽调人过来。

另外，现在是研发试验阶段，超纯水这些，购买就可以了。但真正的生产线，需要大批量生产的，那需要的超纯水就多了，还得配上循环的超纯水制备、储存设备呢！

这一块，技术在日国等国家手里。

连广浩开心道，“明白，江董，在您带领下，我们相信，再有一两个月，咱们一定可以把浸没式光刻机搞出来！”

“嗯，有信心就好。现在都快下班了，大伙把数据整理收集好，另外，保密要求，相关试验的情况、数据参数，不能外传。”江成最后提醒道。

“知道的。”

“明白！”

听到下班的消息，大伙松了口气，一致的回了句，这才开始离去。

江成再细细的看了下，随后出了无尘车间。

换了衣服后，江成拿到了自己的手机。

手机之上，有着于歆然的两个未接电话。

“喂，歆然”

“江成，你忙好啦”电话那头，于歆然的声音非常开心。

“是，刚从实验室里出来呢。你呢，在忙啥”

“我呀，你先猜猜我在哪”于歆然笑着道。

江成愣了下，“你来魔都了”

“嗯嗯！”于歆然满怀欣喜地点点头应道，随后声音小了下来，“我想你了……”

……