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换上全套防尘装备,穿过风淋室,一群全身上下裹得严严实实的工程师早已站成两排等在面前。

苏远山看着胸卡,认出了戴着口罩的庞克明——他在成光所时代便是郑振川的“徒弟”,如今郑振川虽然还活跃在技术一线,但毕竟是当老总的人,精力难以为继。所以便把攻克难关的任务交给了庞克明。

而且按照宏芯的计划,在完成浸润式光刻的攻克后,庞克明将就地在沪市建立分厂。

毕竟,作为工业和出口重镇,沪市比起省城的优势确实大不少,更重要的是,沪市这边有德远总部。今后如果不出意外,省城这边的总部将更多会保留科研单位,进行技术攻关,而装配工作会逐渐转移到沪市这边。

“庞工。”

“山总,我懒得再防尘服,就没出来,你没见怪吧?”

“呵呵,没有没有,大家辛苦了。”苏远山一边和众人打着招呼,一边望向前方不远处的“大机柜”。

很好,看来确实是万事俱备,只欠自己这场东风了。

“在诸位领导的……”庞克明带着苏远山走向光刻机,他看了眼跟在苏远山身后的几位大佬,笑着替苏远山介绍道。

“庞工,捡重点说。”苏远山目不转睛地盯着光刻机,听到庞克明要搞这种形式主义,马上摆手:“多久能进厂?”

庞克明便看到,一干人的脸上都露出了笑意,他也轻轻咳了一声,笃定地道:“现在就可以进厂。”

“哦?意思是,现在就能量产了?”苏远山转身看着庞克明,很有几分迟疑——他一直关注着这边团队的进度,是以对光刻机参数了如指掌,压根不需要庞克明介绍。

他最看重的,还是何时能够量产。

原型机和量产机,那真的是有区别的。

“在设计之初,我们就考虑到了量产的问题。”庞克明笑着答道:“当然,现在就说能接订单量产那肯定有些吹牛皮,不过让这台原型机进厂跑起来,然后提供维护的方案,我们肯定是有的。”

苏远山又转头看着林本坚等人,只见这老几位虽然带着口罩,但也都眼角含笑,心中便知道庞克明所言非虚,当下便哈哈一笑,喜上眉梢。

“不错,不错!走,我看一眼测试。”

“好的,而且为了测试,我们还发明了一种专门用于光刻机测试的掩膜版和工序,它包括了套刻测试图形和参数计算公式。”

庞克明示意下属开始演示。

“山总,传统的测试分辨率和焦距的方法是制作光刻线宽测试版,即在光刻版的各个区域上都均匀放置一组线宽测试图形,在圆片上曝光后用扫描电镜测试该图形的线宽数据,然后再来评价光刻机镜头各区域的分辨率和最佳焦距。我们这个算是一步到位,简单方便,啪的一闪,就能直接得出光刻机的参数了。”

“嗯,不错!”苏远山再次点头。

……

……

两小时后,苏远山几乎是一路飘着走出了无尘室。

作为宏芯的代表,庞克明这次就不能再捡懒了,他也和林本坚,赵凯东,梁孟松等一起进入了会议室。

“客套话我就不说了,意义我也不重复了,论功行赏什么的……”苏远山见众人都笑了起来,他也呵呵一笑:“咱们要低调点,不能抢了上面的风头。”

“意思是,我们还要等上面验收?”庞克明看着苏远山,试探性地问道。

苏远山微微一笑,点了点头:“虽然咱们早就过了验收报喜的阶段,而且我们也没有拿国家的钱,不需要上头来检查什么的,更不需要对上面负责……但该给的面子还是要给嘛。”

在座几人纷纷点头。

纵然大家都是一心搞技术的工程师,但活了这么大岁数,这种又不违背原则,又能让国家开心的事,怎么都是支持的。

“不过这事儿你们别着急,庞工你也要给郑叔说一声,咱们这个消息要先保密起来——因为下个月半导体峰会就要召开了,现在初步想法是,等到半导体峰会结束之后再正式发布。”

“然后这段时间,你们看能不能抓紧时间进厂,把良率……”苏远山说着自己就愣了一下,随即不好意思地笑了起来:“哎呀,时间太紧了,估计来不及。”

梁孟松和庞克明相视一笑——进厂的话,那这活儿就应该是他俩来干了。

从现在到五月十五号半导体峰会,满打满算都只有一个月挂零的时间,要在这么短的时间内完成拆装——嗯,加班加点的话,也不是不行。但如果要正式投入使用,完善工艺和制程,那没有三五个月还真的是休想。

毕竟,这台浸润式dv光刻机,它理论上可以提供太多太多的可能的了。

“这样,大家还是先锦衣夜行一段时间,这段时间,大家好好休个假,放松放松。等到半导体峰会之后,我们再说。”

“那让上头验收的事?”

“这事我先去找领导商量商量——别的人可以瞒,在沪市这地盘,领导可是不能瞒的。”

苏远山脑中浮现出领导圆乎乎的笑脸,不由自主地浮出了笑意。

来沪市,他怎么都要去领导那儿逛一圈的,而这事儿,领导显然也是必须知道的。

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