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不过这一次事故并非是如之前一般打碎了晶圆,而是因为减薄过度,发生了晶圆翘曲问题。
晶圆片实际上就是一片硅圆片,它的原子是按金刚石结构周期排列的,当其内部院子结构被破坏后,就会打破原有的平衡。
当晶圆较厚时,自身抗拒应力就会比较大,晶圆的翘曲度就会很小;反之当圆片较薄时,圆片自身抗拒应力的能力就会变弱,应力体现在外部,就形成晶圆翘曲。
用简单的话来讲,就是晶圆两面受力不均,导致刻有晶体管的那一面拉扯背部粗糙面,使得晶圆整体不再是一个平面,而是形成一个曲面。
这种情况在工艺落后的情况下时常有的,一般而言,在翘曲度小于一定范围内时,不影响后续的工序,而在翘曲度大于标准时,检验不合格,则只能按照废品标准处理,重新回炉。
这件事情的发生不仅印证了王向中的猜测,同时也让晶华厂房对质量安全管理开始重视起来。
第二天一大早,由董事长李东牵头,带着厂长左为民、技术副厂长马建国,封装部门的一干小组负责人,以及水木小组的几个研究生代表,召开了一次质量安全技术大会。
“同志们,在这些事情发生之前,我从来都没想过我们厂里能有这么多质量问题,”李东环顾四周,满脸痛心疾首的表情,“一张晶圆价值数十万,这才一个月,就报废了两张晶圆,你们要知道,这条流水线一个月才能产二三十张晶圆,我实在是想不明白,你们究竟在干什么!”
一个月报废两张晶圆,在外行人看起来感觉还行,但实际上,晶圆厂根本不怎么赚钱,实际利润能到百分之十就已经算不错了,而对月产二三十张晶圆的流水线而言,一个月报废一两张晶圆,基本等于这个月白干了。
“而且,这两张晶圆,还是对我们晶华特别重要的两张晶圆!”李东暴躁地敲着桌面,“水木大学历经千辛万苦,花费数月时间研究出来的心血,就这么付诸东流,你们害不害臊,惭愧不惭愧!”
听到李东在台上的咆哮声,下面的员工也是表情黯然,一个个都低下了头。
“李董未免脾气太暴躁了吧,”左为民干笑了一声,“这五英寸的流水线刚通过验收没多久,大家都还没熟悉操作,出一点问题,也在所难免。”
“左厂长这么快就想开脱责任了?”李东听到左为民的话,也是冷哼一声,“我还没向你问责呢,你培训怎么做的,管理怎么做的?”
“什么怎么做的,你当我还是厂长?”左为民也是哑然一笑,露出了嘲讽之色,“不是你亲手解除了我的权力吗,怎么,现在又想起我来了?”
“你……”李东张了张嘴,想说点什么,但一想到自己的确是已经将对方的权力给解除了,竟一时哑口无言。
看着台上两人的辩论,坐在台下的王向中也陷入了沉思之中。
当时自己也去看了打磨机上的监控录像带,因为是在净室内,大家都戴着口罩和厚厚的防尘服,很难辨认到具体谁是谁。
但是在打磨机调教过程中,的确有个技术员过来调整过参数,而后也找过相应区域的EE工程师,仔细核对后,发现对方只是正常的参数调整和检查,并未做什么手脚。
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