第93章 力排众议（上）

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台下来自水木大学的研究生们此时更是纷纷炸开了锅，他们倒是听自己的导师提到过此次任务的艰巨性，但没想到王向中一开始就跳出来给他们安排了一个几乎不可能的任务。

“王师弟，我有一个问题。”台下的黄晓明突然举手道，“这可不是光凭你一句话就能决定的事情，提升光刻机工艺是一件很复杂的事情。”

尽管他已经在白马和金圆圆口中听到了关于王向中的诸多传说，但他相信眼见为实，耳听为虚，因此也趁机提出了自己的质疑。

“问的不错，”王向中笑道。台下诸位的反应并没有出乎他的意料，现在自己遭到众人的质疑也是相当正常。

“根据瑞利衍射定理，光刻机的分辨率受影像对比度、光源波长和数值孔径影响。早在你们来之前，我就已经参观过了晶华的净室，5英寸生产线所使用的光刻机型号是康尼NSR-1010g，属于一台i线光刻机。”

“i线光波长在为365nm，所以理论上它最高可以支持0.35微米分辨率。”

这个年代的光刻机既没有双工作台，浸润式光刻技术还没有被发明出来，因而王向中也只能保持这个年代公认的说法。

“光源波长已经定死了，所以我们剩下能做的，就是提高基础工艺水平，以及提高数值孔径。”

听到这些话，台下的研究生们脸色才算是好看了一些，但如果只是这点理论的话，也完全不足以支撑整个改进工艺，于是便有人忍不住说道：“那我们怎么提高数值孔径呢？”

“数值孔径的提升有两个办法，那就是改良透镜组，提升它的外镜直径，或者是减小透镜曲率半径，两者都是比较好的选择。”王向中沉吟道。

“改良透镜组……”台下一名戴眼镜的IE工程师（IndustrialEngineer，工程工艺工程师）终于忍不住了，似是有些不屑地提问道：“外镜直径说提升就能提升？透镜难道可以手工打磨？你简直是在胡说八道，我真是听不下去了。”

“你是不是以为自己能比康尼研发部还聪明？他们做不到的事情你就能做到，你以为你是谁？”他继续嘲讽道，“你知道镜头玻璃的技术指标吗？先不说咱们能不能把镜头造出来，你们现在难道已经有了设计图纸吗？”

听到这话，不少人也是脸色一变，看向王向中的眼神也不太信任起来。

“这几台康尼光刻机的基础工艺因子系数已经调教得很好了，基本接近于0.3，想通过提升对比度方式的工艺提升很有限。而且你擅自改动透镜组参数，势必也要调整光源功率，到时候又会引发更多的问题。”另一名IE工程师说道，他倒没有半分鄙视王向中的意思，不过那双眼睛里满满的都是担忧之色。

光刻机是一个整体的系统，如果改动了其中一个参数，那便是牵一发而动全身的事情，几乎要将其它相关联的所有参数改动个遍，而这也是改进光刻机工艺比较难的原因之一。

“除非你可以搞到国外的新透镜组零件，否则一切免谈！”戴眼镜的IE工程师摆了摆手，便也不再发言。

听言，王向中也是深深皱了皱眉头。

倒不是因为那两人质疑声有什么问题，恰恰相反，他们的疑问都是有根有据的，但王向中怎么又会考虑不到这些问题呢？

但是要这么轮番提问下去，这个大会到明天都开不完。

“大家稍安毋躁，有关于这些问题的解决方案，我都已经做过一番推演了。你们所提到的问题，其实都不是问题。”王向中突然将嗓门提高了几度。