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叶志华同样是敏锐地捕捉到了左为民身上的不寻常气息,当下也是眼睛微咪起来。他可不是吓大的,风风雨雨这么多年,什么样的人没见过?这一嗓子,就是典型的下马威。
只是没想到自己这边还没有开始,厂里的保守派就已经跳出来了。
作为水木大学的专家团队,他们暂时还不了解厂里的具体运作状况,所以需要在工程师的帮助下,共同对晶华可能存在的问题进行探讨。
但是这里有一个问题,就是外来技术专家和工程师之间,永远有着不可调和的矛盾。
技术专家的目的是为了解决工程师遗留的问题,这势必要触及到工程师犯下的错误,然后将这个错误摆在台面上来进行论证,最终完善整条生产线中出现的问题。
左为民作为工程师,作为晶华的技术骨干,自然是不愿意承认自己的错误——即使他没有能力,也会想要试图掩盖一切对其不利的证据,即便最终的代价是整个厂消失在历史长河中,他也不愿意让自己的脸面遭受到任何损失。
叶志华将目光投向一旁的牛玉鹏,而此时对方也是摊了摊手,模样也是显得颇为无奈。很显然牛玉鹏是非常清楚这个问题存在的,但是他们解决不了。
这直接说明了,晶华的问题还不仅仅停留于技术层面上,在人的层面上,可能同样有着不小的矛盾。
这在场的一切举动自然也是被王向中尽收眼底,不过他仍然是不动声色,只是笑着上前说道:“左厂长,我们已经准备好了,可以开始了吧?”
左为民轻轻扫了在场众人一眼,轻声道:“跟我来。”
再通过一组气锁室,王向中几人便是到达了晶圆厂的内部核心所在——光刻室。
光刻室,是一家晶圆厂的终极奥秘所在。这里处处遍布着黄色的钠灯用于照明,气压和湿度也达到了一个人类舒适范围之外的指标。
一进入这里,不仅会觉得钠灯的光线特别黄,同时,还会觉得防尘服下变得粘腻燥热起来,就如同进入了高压锅一般。
因为空气的流动特性,气体总是会从高压地区流向低压地区,因此为了保证光刻室内的最大纯净程度,光刻室内的压强起码要比外面的大气压高上50Kpa左右,以保证外部污染物不会随着空气流入光刻室内。
在广义上,光刻中一般包含三个步骤,第一个步骤是涂胶,即涂抹光刻胶。
光刻胶分为正胶和负胶两种,其中正胶遇光就会失去原有化学性质,而负胶遇光就会产生化学性质的变化,这两种胶通常用在不同的工序之中。
第二道工序则是刻蚀,当硅单质基底均匀涂抹光刻胶后,通过光源对光刻胶进行曝光,再使用超纯水和化学物质对基底进行蚀刻,在基底表面留下与光掩模一致的坑道。
而第三道工序则是沉积,在坑道内的不同部分掺入硼、磷等杂质,并使其沉积在基底表面,通过它们不同的化学性质,在基底这张不导电的硅片上人为创造可以单向导电的PN二极管。
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