376.造不如买——中夏光刻机夭折始末（上）（2合1）

请关闭浏览器的阅读/畅读/小说模式并且关闭广告屏蔽过滤功能，避免出现内容无法显示或者段落错乱。

与此同时，徐端颐正在办公室里长吁短叹着。

从今年3月开始，徐端颐就陷入了苦闷之中，他虽然才54岁，头发却已是花白的了。

1961年，徐端颐从水木大学的精密仪器系毕业后，便留在学校当助教。

精密仪器这个专业学制很长，徐端颐足足读了六年。

徐端颐只教了一年书，就带着两岁的儿子到了赣鄱省的农场，准备在那里安心当农民、种一辈子的水稻。

没想到，在1971年的一天深夜，农场场长火急火燎地敲开了徐端颐的房门，告诉他国都来了急电，命令他立刻返回国都。

回到国都后，徐端颐接到了任务，国家让他负责研制两种关键设备：“自动光刻机”和“分步重复照相机”。

自此，徐端颐便和光刻机结下了不解之缘，他把半生的时间都用在了光刻机的研发上，却没想到，他与光刻机的缘分在今年3月戛然而止。

电话铃声响了，徐端颐接起，发现是系主任来的电话。

徐端颐心下一沉，生怕从领导嘴里听到什么坏消息。

系主任的声音喜气洋洋的，倒不像是来说坏消息的：“老徐呀，你一直在办公室里吧？等会下我和院长过去找你。”

徐端颐小心翼翼地问：“请问领导们过来是什么事？”

“哎呀，电话里说不清，总之是大好事，你放心吧。”

“这么说，是我那笔光盘的经费贷款被批准了？”

“哎呦喂，徐大教授呀，你快忘记你那个光盘的事吧！今天这事要是弄好了，别说60万，就是600万的经费都有着落！你先在办公室等着，我们马上到。”

挂了电话，徐端颐忐忑不安地在办公室里坐着，心里惦记着自己那笔光盘经费贷款的事。

过了大概一刻钟，办公室的门被敲响了，徐端颐连忙打开门，然后就见三位校领导簇拥着一个很有派头的大背头进了门，与之同来的还有自己的朋友俞忠钰。

王院长热情地对着大背头介绍：“张总，这就是我们精密仪器系的徐端颐徐教授，分步投影光刻机的项目负责人。”

然后，王院长笑眯眯地对着徐端颐说道：“徐教授，这位是元亨集团的副总裁张思明张总，这次过来是专门了解你的光刻机项目的。”

徐端颐以为张思明是来买光刻机的，便很老实地说道：“张总你好，真是不巧，我们光刻机项目已经终止了，项目组都解散了，已经生产不了光刻机了，我现在都转去研究光盘了……”

系主任连忙出来打圆场：

“哎~老徐，你光盘的科研项目贷款不是还没批下来吗？

反正连开始都没开始，先放一放也不打紧。

元亨集团的赵德彬赵总你总该知道吧？

赵总想在洪港建晶圆厂，这可是好几亿丑元的大项目呢！

这不，张总听说你们团队会造光刻机，就想请你们团队过去，专门造光刻机。”

“那我这光盘……”

“别光盘了，光刻机才是大事，解散的人可以把他们叫回来！”

见徐端颐始终一脸难以置信的表情，张思明又把对俞忠钰的那套说辞搬了出来，并且再次显摆了一回拉扎的486，让众人感受一波赵德彬的“钞能力”。

至此，徐端颐才相信了元亨集团是真的有实（财）力支持光刻机研究。

待众人落座后，徐端颐对张思明缓缓说道：

“张总，我们团队是一个很大的团队，成员来自学校五个系，人数多达上百人。

我们团队是1971年组建的，只用了一年多，就研发出了中夏第一台光刻机和分步重复照相机，这个成果在1978年获得全国科技大奖。

从1975年开始，我们采用了直接在半导体晶片上光刻集成电路的方法，开始研发‘自动对准分步投影光刻机’。

前后历时五年，我们在1980年研制出了中夏第一台‘自动对准分步投影光刻机’，这是咱们中夏第二代光刻机，获得过国都首届科技成果一等奖。

第二代光刻机在当时已经能批量生产，最细可以加工08微米的线，能在单晶片上刻下精细准确的集成电路，填补上了国内的技术空白。

在1987年，我们团队又开始研发更先进的第三代光刻机。

当时我们瞄准的是国际先进水平，设计标准是很高的，可光刻的芯片最大面积为1010平方毫米，实际有效分辨率为125微米，工作台行程160160毫米，可加工4至6英寸的晶片。

去年年底，第三代光刻机研发成功了。

我们一共生产了三台，一台留在我们学校的研究所，一台给了中夏科学院109所，一台给了国都半导体器件厂。

经过大量的实验，我们第三代光刻机与上一代相比，成品率提高了27。

我们的成果报上去以后，上面非常重视，领导亲自到学校里考察。

到了今年1月，上面召集了一大批权威专家，在学校里组织了一场规模很大的鉴定会，对我们团队的第三代光刻机进行鉴定，由物理学泰斗王首武先生担任评审组组长，上面的领导也来了好多。

鉴定会的每一环节都特别严格，我在水木这么久，这样的排场还是第一次见。

王守武先生很肯定我们发明的‘在光刻掩模上增加保护膜’这一新方法，还帮我们介绍了一家丑国公司合作生产。

这之后，我们的第三代光刻机连同使用的镜头一起获得了‘国家科技成果奖’，我们学校也成为了国内唯一一个能够自主研发高端光刻机的单位。

能得到王首武先生的赞赏是一件非常难得的事，而且我们的第三代光刻机也通过了非常严苛的鉴定，还接到了很多国内单位的订单，这让我们非常高兴，还以为国产光刻机的前景一片光明，很快就能追上国际一流水平。

万万没想到，我们统共只高兴了两个月。

等到今年3月，国内各单位纷纷取消了订单，就连跟我们长期合作的中夏科学院109所也不要我们的设备了。

如此一来，我们的光刻机没了市场，根本卖不出去，上面和学校也不再拨给我们经费，我们的研究项目也不得不中止，现在组里成员都已经解散了。

光刻机项目没了以后，我只好转去光盘研究。”

说到这里，徐端颐长长地叹了口气，脸上一片愁云惨淡。